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本发明公开了在光伏电池上产生钝化层的沉积方法。所述方法包括沉积包含至少进一步包括氧化硅和氮化硅层的双层的钝化层。在一个方面，用于沉积氧化硅层或氮化硅层的硅前体分别选自SiRxHy族，或选自SiRxH族、硅烷及其组合，其中，在SiRxHy中，...
该专利属于气体产品与化学公司所有，仅供学习研究参考，未经过气体产品与化学公司授权不得商用。

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