下载NOR快闪存储器及其形成方法和接触孔的形成方法的技术资料

文档序号:8490816

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供的NOR快闪存储器,包括:漏极;覆盖所述漏极的介质层;形成在所述介质层内的连接所述漏极的接触孔;其中,所述接触孔与所述漏极相接触的接触面的宽度为40nm到150nm,所述接触面与栅极的最近端距离为30nm到100nm。本发明另提供...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。