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本发明公开了一种薄金属层光刻对准标记的制作方法，该方法在垫积薄金属层前，还包括以下步骤：1)在衬底介质层上，与要制作的光刻对准标记相对应的位置处，涂布光刻胶作为阻挡层，曝光，刻蚀；2)用与薄金属层的材质不同的金属或合金填充步骤1)刻蚀掉的区...
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