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本发明揭示了一种磷硼预扩散工艺用测试片的复用方法，其先在新的测试片上生长一层氧化层；再使用氢氟酸溶液刻蚀去除测试片表面一半的氧化层直至露出裸硅；继而将一半具有氧化层的测试片投入正常使用，且使用后采用氢氟酸溶液剥除所有氧化层，测量原裸硅所在的...
该专利属于康可电子（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过康可电子（无锡）有限公司授权不得商用。

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