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本发明提供一种形成非平面晶体管的方法。首先提供基底，基底上定义有有源区以及周边区。接合于基底的有源区中形成多个超浅沟槽隔离。然后移除各超浅沟槽隔离的部分，以暴露出基底的部分侧壁。于基底上的有源区以及周边区上形成导电层，并覆盖住基底的部分侧壁...
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