下载透明导电性薄膜的制造方法的技术资料

文档序号:8490508

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本发明提供可以缩短用于使具有铟系复合氧化物的非晶质层结晶化的加热时间的透明导电性薄膜的制造方法。本发明的透明导电性薄膜的制造方法具备如下工序:第1工序,在厚度为10~50μm的薄膜基材的第一表面上层叠由铟系复合氧化物形成的非晶质层;第2工序...
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