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一种曝光装置，使工件在正交于工件面的方向、即Z方向移动时，修正起因于Z方向移动机构的直线度所产生的在与工件面平行的平面内的工件的移动。利用校准用显微镜来检测掩模的掩模标记像，并存储其位置。接着，将工件载置于吸附工作台，检测工件标记的位置，进...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

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