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本发明公开了一种二自由度纳米定位平台，包括动平台和基座，所述动平台和所述基座通过X轴方向柔性支链和Y轴方向柔性支链连接。本发明采用柔性并联结构，具有高刚度、高精度、低惯量、结构紧凑、无误差积累等优点；采用柔性板簧作为传动部件，具有无机械摩擦...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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