下载反射镜驱动设备、驱动该反射镜驱动设备的方法和制造该反射镜驱动设备的方法的技术资料

文档序号:8489109

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本发明一个方面提供一种反射镜驱动设备,包括:反射镜部分,所述反射镜部分具有反射光的反射面;一对压电致动器部分,该对压电致动器部分布置在反射镜部分的两侧;多个连结部,所述多个连结部将压电致动器部分中的每一个的一端分别连接到反射镜部分的端部,所...
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