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硅片切割废砂浆中二氧化硅、硅和碳化硅的测定方法技术
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本发明公开了硅片切割废砂浆中二氧化硅、硅和碳化硅的测定方法,通过样品预处理、样品反应、样品显色、二氧化硅含量的测定、硅含量的测和碳化硅含量的测定等步骤进行测定;该方法采用分光光度计法和重量法相结合来完成测定,通过计算公式得出切割废砂浆中二氧...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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