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下载力传感器的技术资料

文档序号:8488350

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力传感器,具有:载体,其具有前侧和背侧;半导体本体,其具有表面和背面和构造在半导体本体的表面上的压阻元件,其中半导体本体与载体力锁合地连接;第一翼部,其构造在半导体本体的表面上并且具有上侧和下侧,其中翼部可基本上沿着半导体本体的表面的法向量...
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