下载一种大口径光学非球面镜检测系统的技术资料

文档序号:8488178

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本发明涉及一种大口径光学非球面镜检测系统,包括干涉仪、标准球面透射镜头、一维电控平移台、五维电控精密平台及计算机数控系统,通过计算机控制一维电控平移台和五维电控精密平台来调整干涉仪与被测非球面的相对位置,完成对非球面的检测。检测过程中,干涉...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。

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