下载一种全口径光学非球面面形误差直接检测系统的技术资料

文档序号:8488177

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本发明涉及一种全口径光学非球面面形误差直接检测系统。包括干涉仪、标准球面透射镜头、一维电控平移台、五维精密电控平台及数控系统;通过一维和五维电控平台调整干涉仪和被测非球面的位置,使干涉仪产生的比较球面波与被测非球面某一内切圆相匹配,利用干涉...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。

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