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本发明公开了一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法，所述石墨舟包括按照顺序从下到上布置的底托、滑条、母液槽、石墨片和上盖，其中，在滑条上设置有容纳衬底的多个衬底容纳部，使得衬底能够随着滑条沿石墨舟的纵向在底托内滑动，母液槽布置在滑条...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

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