下载一种单晶炉的技术资料

文档序号:8485423

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本发明提供了一种单晶炉,包括炉体,位于炉体底部的护盘压片;位于护盘压片上的第一辅助电极通孔下方的第一辅助电极,位于护盘压片上的第二辅助电极通孔下方的第二辅助电极;设置在护盘压片表面的检测线,其两端分别于第一辅助电极和第二辅助电极连接,且其与...
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