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用于微盲孔填充的电镀铜溶液制造技术
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下载用于微盲孔填充的电镀铜溶液的技术资料
文档序号:8485390
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本发明涉及一种用于微盲孔填充的电镀铜溶液,是通过在电镀铜溶液中添加嵌段聚醚、聚二醇醚共聚物、胺类嵌型聚醚或聚乙烯吡咯烷酮等物质作为抑制剂,与聚二硫二丙烷磺酸钠或3-巯基-1-丙烷磺酸盐的加速剂、健那绿等整平剂以及氯离子协同作用,实现了电镀工...
该专利属于陕西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过陕西师范大学授权不得商用。
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