下载低内应力的铜电镀方法的技术资料

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一种铜电镀方法,其提供了低内应力的铜沉积物。铜电镀浴中促进剂的浓度随着电镀电流密度的改变而变化,并且观察到无光泽铜沉积物形式的低内应力的铜沉积物。...
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