温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及溅射镀膜技术领域，特别涉及一种靶材使用检测系统和方法，用于防止靶材使用过量，提高溅射镀膜工序产品的合格率。本发明公开了一种靶材使用检测系统，包括：靶材，且在靶材的背板上设置有至少一个具有凹槽的凸台和与凹槽连通的导气通道，所述凹槽的...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司授权不得商用。