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本发明提供一种能够抑制从移动的喷嘴喷出的处理液的流量发生变动的技术。基板处理装置具有：基板保持部，其将基板保持为大致水平；主扫描机构，其具有沿着大致平行于基板的主扫描方向延伸的主扫描机构引导部、被主扫描机构引导部支撑且能够沿着主扫描方向移动...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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