下载一种八英寸硅单晶硅片多线切割机及其切割方法的技术资料

文档序号:8481106

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本发明提供一种八英寸硅单晶硅片多线切割机及其切割方法,包括导轨丝杠、工作台、砂浆喷嘴、槽轮和接片槽;所述导轨丝杠设于工作台上,所述导轨丝杠与工作台间从上到下依次设有工作台铁垫和绝缘垫,所述工作台配有喷浆沙嘴,所述喷浆沙嘴下设有接片槽,所述接...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

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