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本发明一种废气淋洗处理工艺及装置，特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置，用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体。属生产多晶硅产生的废弃物处理领域。该发明是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗处理，通过控制淋洗所...
该专利属于昆明冶研新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆明冶研新材料股份有限公司授权不得商用。

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