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本实用新型提供一种传送部件，至少包括多个圆台防滑栓、传送部件本体和固定盘，其中，所述传送部件本体包括一平板部、开设于所述平板部上用于容置机械手的凹槽部、以及设置在所述凹槽部外平板部中的与所述圆台防滑栓相匹配的多个通槽，且所述通槽的深度略小于...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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