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刻蚀电极机构中的上电极，包括气体喷孔（1）、安装孔（3），上电极设置成圆台（5），圆台（5）按规律设置有辅助气体分配的沟槽（2），沟槽（2）上等间距设置有气体喷孔（1）。本实用新型结构简单，操作方便，具有对等离子工作气体的分配功能、具有密封...
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