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本实用新型提供一种光刻机的预对准机构，至少包括：具有旋转本体及第一抽气通孔的旋转台，具有塑料本体、对应所述第一抽气通孔的第二抽气通孔、及连通所述第二抽气通孔的沟槽的真空吸盘，具有光源发射端以及光源接收端的光学组件。本实用新型的光刻机的预对准...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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