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一种形成光检测器器件的方法包括在衬底上形成绝缘层；在所述绝缘层和所述衬底的一部分上形成锗(Ge)层；在所述Ge层上形成第二绝缘层；在所述Ge层中注入n型离子；构图所述n型Ge层；在所述第二绝缘层和所述第一绝缘层的一部分上形成覆盖绝缘层；加热...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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