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本发明实施例提供一种制作薄膜晶体管阵列基板的方法、阵列基板和显示装置,方法包括:在玻璃基板上,形成一层透明导电薄膜,形成一层栅金属薄膜,通过一次构图工艺形成包括栅电极、栅线和第一透明电极的图形;形成栅绝缘层薄膜、半导体层薄膜和钝化层薄膜,通...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供一种制作薄膜晶体管阵列基板的方法、阵列基板和显示装置,方法包括:在玻璃基板上,形成一层透明导电薄膜,形成一层栅金属薄膜,通过一次构图工艺形成包括栅电极、栅线和第一透明电极的图形;形成栅绝缘层薄膜、半导体层薄膜和钝化层薄膜,通...