下载PLC晶圆切割用工装平台的技术资料

文档序号:8462856

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本实用新型公开了一种PLC晶圆切割用工装平台,其特征在于:包括平台和侧边条,侧边条通过螺钉固定在平台的侧边,侧边条设置有一基准面,该基准面垂直于平台上表面。通过本工装平台可使得多个晶圆条的切割线平行,从而可实现切割机一次对刀,就可对多个晶圆...
该专利属于浙江富春江光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江富春江光电科技股份有限公司授权不得商用。

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