温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种由压电材料制成的结构的制造方法，包括：a）在由压电材料制成的基板（20）上制造包括至少一个金属层（22）和至少一个导电层（26）的叠层，其中，在导电层（26）和叠层外部的金属元件（29）之间建立至少一个电接触（31），b）通过...该专利属于法国原子能及替代能源委员会;SOI科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过法国原子能及替代能源委员会;SOI科技有限公司授权不得商用。