下载通过三维集成技术制造高性能碳纳米管晶体管集成电路的方法的技术资料

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提供用于制造基于碳纳米管的器件的技术。在一个方面中,提供用于制造基于碳纳米管的集成电路的方法。该方法包含以下步骤。提供包含碳纳米管的第一晶片。提供包含一个或多个器件元件的第二晶片。通过将第一晶片与第二晶片接合在一起,使碳纳米管中的一个或多个...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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