下载固化膜形成方法的技术资料

文档序号:8456817

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本发明提供一种正型感光性树脂组合物的固化膜形成方法,其是在支撑体上形成正型感光性树脂组合物的固化膜的方法,包括:在上述支撑体上涂敷上述正型感光性树脂组合物的涂敷工序;对上述正型感光性树脂组合物有选择地照射化学射线进行曝光的曝光工序;用碱性显...
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