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本发明涉及一种改进的微光刻书写器，其在工件的表面上扫描调制图案。公开的SLM采用连续或准连续的辐射源工作在衍射模式中。微光刻书写器使用长且窄的SLM，并利用沿着SLM的窄轴的衍射效应来改进沿着该轴的书写特性。...
该专利属于麦克罗尼克迈达塔有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦克罗尼克迈达塔有限责任公司授权不得商用。

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