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感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜和使用它们的半导体器件制造技术
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文档序号:8456814
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本发明提供固化后的应力小、热压接后的粘合性优异的感光性树脂组合物和感光性树脂组合物膜。所述感光性树脂组合物的特征在于,含有以下成分:(a)碱溶性聚酰亚胺,具有下述通式(1)所示的结构单元,且在主链的至少一个末端具有通式(2)和/或(3)所示...
该专利属于东丽株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽株式会社授权不得商用。
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