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一种用于自补偿的方法，该方法包括下述步骤：将图案元件相对于读头旋转，该旋转围绕轴线达到覆盖至少360度的范围的多个第一角度；在多个第一角度的每个处，均获得基准读头和m个测量读头的第一角度读数；计算m个测量读头中的每个的第一数组，对于所述多个...
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