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钟罩清洁化方法、多晶硅的制造方法以及钟罩用干燥装置制造方法及图纸
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下载钟罩清洁化方法、多晶硅的制造方法以及钟罩用干燥装置的技术资料
文档序号:8456301
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钟罩具备金属性钟罩(1)和用于设置该钟罩(1)的金属性基板(2),通过填料(3)使容器内部密闭。在基板(2)上连接压力计(4)、气体导入管路(5)、气体排气管路(6),使钟罩(1)的内部压力的监测以及气体的导入和排气成为可能。在气体排气管路...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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