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本发明提供不使吸附孔小径化而能够检测出工件的基准标记的工件输送装置、以及工件处理装置和工件处理方法。喷嘴单元（50）的吸附孔（52）能够通过摄像装置（70）对工件（100）上表面（被吸附面）的第1基准标记（101）进行摄像，并且具有收纳于工...
该专利属于TDK株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过TDK株式会社授权不得商用。

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