温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种MEMS器件(诸如麦克风)使用固定的穿孔板。所述固定板包括在所述板区域上的孔阵列。与所述外围相邻的至少一组的孔包括多行延长孔，所述行相距所述外围不同的距离。这种设计提高了所述振膜的机械鲁棒性并且可以额外地允许所述板的机械行为的调谐。...
该专利属于NXP股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过NXP股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。