【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS器件，包括由间隙间隔开的固定振膜(105)和可移动振膜(103)，其中感测或者控制所述可移动振膜(103)的移动以提供所述器件的操作，其中所述固定振膜(105)包括在所述振膜区域上的孔阵列，其中与所述固定振膜外围相邻地设置的至少一组孔包括多行的延长孔，所述行与所述外围相距不同的距离。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：伊丽丝·博米纳西尔金斯，安德鲁斯·瓦斯克斯库田特罗，克劳斯·莱曼，特温·范利庞，雷默克·亨里克斯·威廉默斯·皮内伯格，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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