下载一种纵向NPN触发的高维持电压的高压ESD保护器件的技术资料

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一种纵向NPN触发的高维持电压的高压ESD保护器件,可用于片上IC高压ESD保护电路。主要由衬底Psub,N埋层,P外延,N下沉阱,高压深N阱,第一N+注入区,第一P+注入区,第二N+注入区,第三N+注入区,多晶硅栅,栅薄氧化层和若干场氧隔...
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