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一种双向三路径导通的高压ESD保护器件制造技术
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文档序号:8454070
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一种双向三路径导通的高压ESD保护器件,可用于片上IC高压ESD保护电路。包括P-衬底、N+埋层、左/右N型外延、漂移区、高压P阱、漏区、源区、多晶硅栅、阳极/阴极接触区。其中漂移区、高压P阱、漏区、源区、多晶硅栅构成的NLDMOS结构和阳...
该专利属于江南大学所有,仅供学习研究参考,未经过江南大学授权不得商用。
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