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本发明公开了一种集成电路静电释放保护电路及其制造方法,该保护电路包括共用同一衬底的GGMOS和至少1个硅通孔,所述硅通孔设置于GGMOS周围的衬底中。本发明的集成电路静电释放保护电路中,ESD产生时,由于ESD电流的存在,会在GGMOS上产...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种集成电路静电释放保护电路及其制造方法,该保护电路包括共用同一衬底的GGMOS和至少1个硅通孔,所述硅通孔设置于GGMOS周围的衬底中。本发明的集成电路静电释放保护电路中,ESD产生时,由于ESD电流的存在,会在GGMOS上产...