下载堆迭式半导体封装结构及其制造方法的技术资料

文档序号:8454059

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本发明公开了一种堆迭式半导体封装结构,用于一堆迭式芯片,包括一第一半导体芯片,包括一金属层;一硅穿孔结构,贯穿该第一半导体芯片的一上表面,并电连接至该金属层;一重布线路层,形成于该第一半导体芯片的该上表面,并电连接至该硅穿孔结构;以及一第二...
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