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本发明涉及二极管生产工艺领域,具体涉及一种整流二极管的制作方法,包括硅片超砂、硅片清洗、清洗石英架和石英砣、扩散、检测、扩散源制作步骤,其特征在于,采用磷、硼、铂液态源一次全扩散工艺,通过磷硅玻璃吸收实现少子寿命的优化分布,采用开管扩散,扩...该专利属于鞍山市华辰电力器件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鞍山市华辰电力器件有限公司授权不得商用。
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本发明涉及二极管生产工艺领域,具体涉及一种整流二极管的制作方法,包括硅片超砂、硅片清洗、清洗石英架和石英砣、扩散、检测、扩散源制作步骤,其特征在于,采用磷、硼、铂液态源一次全扩散工艺,通过磷硅玻璃吸收实现少子寿命的优化分布,采用开管扩散,扩...