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本发明公开了一种束流调节装置及离子注入系统。该束流调节装置包括至少一对磁性杆，每对磁性杆中的两个磁性杆相互对置、且该两个磁性杆的相互对置的两端极性相反。本发明能够利用结构简单可靠且成本较低的束流调节装置实现对离子束的调节，尤其是对离子束的均...
该专利属于上海凯世通半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海凯世通半导体有限公司授权不得商用。

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