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本发明公开了一种用于分步投影光刻机的探测板组的胶合方法，包括①建立超净工作室和超净工作台；②在超净工作台对符合要求的基准板保护玻璃用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭；③将保护膜贴到镀膜探测基准板镀度膜表面；④将贴好镀的膜探测基准板和保护...
该专利属于上海现代先进超精密制造中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海现代先进超精密制造中心有限公司授权不得商用。

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