下载一种光波导芯片与PD阵列的耦合封装结构的技术资料

文档序号:8452222

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本发明公开了一种光波导芯片和PD阵列的耦合封装装置,包括有底板、波导支撑架、波导芯片、基板;所述的波导芯片衬底背面设置有第三标识线面;所述的基板上分别设置有第一标识线面和第二标识线面,其第一标识线面处粘接有光敏面向上的PD阵列,其第二标识线...
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