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本发明提供一种在过程运行中，对定位器内的EPM及气动放大器等模块进行简易并且正确的异常诊断的定位器的异常诊断方法。例如，将EPM2作为对象模块。对至EPM2的EPM驱动信号Duty以及来自EPM2的喷嘴背压Pn进行采样，根据此次的Duty（...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

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