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本发明提供一种提高扩张晶片上的发光元件的光学特性的检测效率,使每单位时间的检测个数增多的发光元件的检测装置及检测方法。本发明的课题通过以下的检测装置及采用该检测装置的检测方法来解决。该检测装置包括:晶片卡盘台,其具备多个晶片卡盘;位置测定装...该专利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日本麦可罗尼克斯股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种提高扩张晶片上的发光元件的光学特性的检测效率,使每单位时间的检测个数增多的发光元件的检测装置及检测方法。本发明的课题通过以下的检测装置及采用该检测装置的检测方法来解决。该检测装置包括:晶片卡盘台,其具备多个晶片卡盘;位置测定装...