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一种微米级测控真空热压烧结炉系统技术方案
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文档序号:8451388
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本发明属于制备功能陶瓷材料的设备系统,具体涉及一种能精确控压并对材料烧结曲线进行微米级动态测量的微米级测控真空热压烧结炉系统。其主要由计算机数据测控系统、电子试验机加压系统和高温真空烧结炉系统构成;其中所述的电子试验机加压系统中的电子试验机...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。
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