【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于制备功能陶瓷材料的设备系统，具体涉及一种能精确控压并对材料烧结曲线进行微米级动态测量的微米级测控真空热压烧结炉系统。
技术介绍
功能陶瓷材料的致密度、晶粒尺寸等性质对产品性能影响巨大，如何控制其烧结工艺，使材料既能烧结致密，又能避免高温烧结引起的晶粒粗化，是功能陶瓷材料制备研究的关键问题之一。真空热压烧结是能满足功能陶瓷材料烧结要求的少数几种有效手段之一。但现有的真空热压烧结炉的加压系统均采用油压驱动。采用油压系统存在的问题是加压速率控制精度低；压力控制不稳定，过压、欠压波动大；压头位移测量不准确，对烧结过程中材料收缩量不能精确测量，无法在短实验周期内掌握材料烧结的最佳工艺等。这些问题都不利于烧结陶瓷质量稳定性、可重复性和研制效率的提高。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有油压驱动的真空热压烧结炉的不足之处，提供一种能在精确控压的同时，对材料烧结曲线进行微米级动态测量的微米级测控真空热压烧结炉系统。本专利技术的设计原理是在现有真空热压烧结炉系统的基础上，更换加压系统，即改变其油压驱动的加压模式，参考万能电子试验机的伺服电机加压模式，采用加高加宽电...
【技术保护点】
一种微米级测控真空热压烧结炉系统，主要由计算机数据测控系统、电子试验机加压系统和高温真空烧结炉系统构成；其特征是：所述的电子试验机加压系统中的电子试验机压头与计算机数据测控系统中的压力位移传感器相连接；高温真空烧结炉系统中的高温烧结炉的底座和下压头放在电子试验机加压系统中的伺服电机的上面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李江涛，王丽丽，梅林，贺刚，赵培，刘光华，陈义祥，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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