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本发明公开一种用于平板显示器的化学气相沉积（chemical?vapor?deposition；CVD）装置，所述装置包括：基座，用于支撑基板；真空室，在所述真空室中对所述基板执行沉积工艺，且所述真空室包括形成于其底部中心区域上并使用于向上...
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